近接场光学显微分光系统
日本分光株式会社生产的可以分光测定的扫描型接近场光学显微镜NFS系列，世界一流。这台装置能10-100nm左右的空间分解力进行显微分光测量。能在微小的领域观测光谱强度变化以及波峰变换可更好的对物质特性描述。
显微紫外可见近红外分光光度计
MSV-5000系列是测量紫外区域到近红外区域广范围波长领域内的微小样品以及微小部位的透过・反射测量的显微分光系统。广泛应用于电子元件的透过・反射特性的评价、半导体的能隙测量，计测膜厚、功能性结晶光学特性评价、色彩分析等领域。